镀膜机

由离子束清洗（IonBEAM CLEANING）+磁控溅射(SPUTTER)组成工艺系统。系列设备主要是（集）高能粒子束清洗技术（IONBEAM）和磁控

镀膜机

PIS210-2镀膜机：腔体结构由装载腔室+真空镀膜工艺强势组合而成；镀膜工艺系统由纯离子镀膜（PIC）+离子束清洗（IONBEAM）组合而

镀膜机

由多个高真空单靶磁控溅射组成工艺系统NDT系列设备主要是由电源系统、真空系统、控制系统、磁控溅射镀膜源系统组成。控制系统是

镀膜机

工艺系统：由真空电弧离子镀膜（ARC）+离子束清洗（IONBEAM）+磁控溅射（SPUTTER）组合而成。系列设备通过冷阴极真空弧光放电活