| 品牌 | DNR | 型号 | DNRGSL系列 |
| 大电压 | 380（V） | 功率 | 5KW（W） |
| 额定温度 | 1600（℃） | 主要用途 | 广泛适用于高、中、低温CVD工艺，例如：碳纳米管的研制、晶体硅基板镀膜、纳米氧化锌结构的可控生长等等；也可适用于金属材料的扩展焊接以及真空或保护气氛下热处理。 |
应用领域：
真空气氛管式炉（管式炉、实验电炉、高温电炉）广泛适用于高、中、低温cvd工艺，例如：碳纳米管的研制、晶体硅基板镀膜、纳米氧化锌结构的可控生长等等；也可适用于金属材料的扩展焊接以及真空或保护气氛下热处理。
主要特点：
真空气氛管式炉（管式炉、实验电炉、高温电炉）采用高纯石英管或刚玉管作为内炉膛。可拆卸式的三面密封方式，具有良好的洁净度和真空度；耐火，保温材料全部采用先进的轻质纤维制品，整机质量轻、能耗低；真空气氛管式炉（管式炉、实验电炉、高温电炉）加热元件采用u型硅铝(碳)棒或原装进口电阻丝；本系列真空气氛管式炉（管式炉、实验电炉、高温电炉）温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制，温度控制具有良好的稳定性、重复性。
技术指标：
高温度 | 1050℃ | 1300℃ | 1650℃/1000℃ | 1650℃ | |
使用温度 | rt—1000℃ | 850-1300℃ | 1000-1600℃ | ||
控制精度 | ±1.5℃ | ±1.5℃ | |||
温区个数 | 3个 | 1个 | 2个 | ||
加热区长度 | 600mm | 300mm | 500mm(300mm/200mm) | 500mm | |
炉管尺寸 | ф60（外径）×1400（mm） | ф60（外径）×1000（mm） | ф70（外径）×1450（mm） | ф90（外径）×1450（mm） | |
炉管材料 | 石英管 | 刚玉管 | |||
发热元件 | 进口电阻丝 | 电阻丝/硅碳棒 | 硅钼棒、电阻丝 | 硅钼棒 | |
大装机功率 | 4.5kw | 3kw/8kw | 10kw | 12kw | |
cvd-□□□ 选件功能 | /□ | ||||
v | 真空系列：单级机械泵+扩散泵机组 | ||||
q | 气氛系统：浮子流量计；进口/国产质量流量计 | ||||
备注：以上设备系统具备冷态极限真空6.67×10-2pa接口条件；其他特殊工艺要求的订货时请说明。 价格根据工艺要求不同价格不同。 | |||||
